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产品信息
Pura高纯气*变送器/在线*仪的产品介绍:
在很多*纯气应用，诸如半导体工业中，气体中残余的*对于过程处理的正常运作*。一直以来，对*的持续追踪测量都是个难点，需要用到复杂的湿度分析仪或者昂贵的分析技术。然而密析尔仪表目前则向市场推出了简单的、经济的、相当*的方案，用来在线测量*值，下限**的-120°C (相当于不到 1 ppbV)。
Pura 变送器是基于密析尔仪表多年在阻**传感器生产和校验的*经验，结合标准工业化的材料和制造流程，打造出的*适用于半导体制造行业和*纯气体应用的*位变送器。
亮点
测量下限 -120°C * (1 ppbV)
测量稳定，重复性好
高度集成的采样装置
模拟和数字输出
安装简便
VCR 过程接口
设计紧凑小巧
显示/报警单元可选
技术指标:
| 传感器 | |
| 传感器类型 | 密析尔陶瓷湿度传感器 |
| 量程 | -120 ~ -40°C * (校验到 -100 ~ -40°C) |
| 精度 |
±1°C -40 ~ -60°C; ±2°C -61 ~ -100°C; ±4°C -101 ~ -120°C (估算值) |
| 分辨率 |
0.1°C -40 ~ -79.9°C; 1°C -80 ~ -100°C; 1 ~ 3°C -100 ~ -120°C |
| 压力 | 10-9 torr; *大 24 MPa |
| 气体流量 | 1 ~ 5 Nl/min |
| 电气 | |
| 电源 | 通常 24 V DC, 10 V ~ *高28 V , *大电流 25 mA |
| 输出 |
4-20 mA 输出, 对应范围可由*软件调整, 调整量程从 1 ~ 80°C (标配提供) *大负载 = 100 Ω + 50 Ω x (V 电源 -8) |
| 输出出错状态 | 标准输出出错信息如下: 23 mA = 传感器故障; 20 mA = *上限; 4 mA = *下限 |
| 机械性能 | |
| 传感器套筒 | 不锈钢, 0.1-0.2 Ra µm 电镀内抛光 |
| 气路连接端口 |
Premium 或 * 型: ¼" m VCR 接口 Pura Sensor 型: ½" m VCR 接口 |
| 安装配置 |
Premium 或 * 型: 120.00mm 长, 气路端口的端面密封. 无需预留管路空隙 底座上有 2 个 M4 x 0.7, 7mm 深的安装孔, 斜对面横竖间距均为 20 x 20mm Pura Sensor 型: 适用于用户提供的 ½" VCR 端口中 |
| 尺寸 |
Premium 或 * 型: 120 x 35 x 150mm Pura Sensor 型: 132 x 35mm |
| 重量 |
Premium 或 * 型: 450g Pura Sensor 型: 180g |
| 包装 |
Pura: 双层包装, 惰性气体填充密封 Pura * 或 Pura Sensor 型: 单层包装 *选配件: *包装运输 Sensor 型在传感芯片端自带保护套,用以运输及操作 |