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产品信息
Pura Plus在线微量湿度异动变送器的产品介绍:
新型的 Pura Plus 是密析尔仪表针对晶圆工业对于设备尺寸和指标的*新需求变化而*设计的。Pura Plus 是一款在线微量湿度异动变送器，多路安装在半导体工厂内通向生产线的气体供应*末端，用来监测*纯惰性气体的应用。工厂内气体系统分布复杂，涉及到很多分支、节点和使用点。因此在常规的湿度监测点后，会由于微量的泄漏、低效的系统设计、元件故障或过程出错等等原因导致*渗入，影响下游使用。而安装在分布系统中的 Pura Plus 能够提供快速的响应指示，在 20 ppb *级别下
1 ppb 的异动的响应时间小于1 分钟。
亮点
对 ppb 级别湿度异动的快速响应
低湿 ppb 级别的灵敏度 (<1 ppb)
多点测量安装的*概念
维护要求低
信号灯式的状态指示
可设置*和报警点
Modbus 网络兼容
远程控制界面的多通道软件
(UHP) *纯气体的管线检测
技术指标:
| 响应速度 | <1 分钟 20 ppb *变动1 ppb 的响应时间 |
| 湿度量程 | 1 ppb to 20,000 ppm |
| 压力范围 | 0 to 10 bar |
| 耐压等级 | 300 bar |
| 泄漏测试 | 0-9 mbar l/s |
| 工作流量范围 | 1 ~ 10 l/min |
| 工作温度 | 5 ~ 40°C |
| 存储温度 | 30 ~ 70°C |
| 电源 | 20 ~ 28 V DC |
| 功耗 | 5 W *大 |
| 外部保险丝等级 | 500 mA 快熔型 |
| 数据输出 | Modbus ASCII 两线 RS485 |
| *和报警输出 | 2 路 |
| *大电压 | 40 V DC |
| *大电流 | 100 mA |
| 气体接触的材质 | |
| 外壳材质 | 不锈钢 AISI 316L, 内表面电抛光 <10 Ra |
| 传感器结构 | 氧化铝电解质, 上层镀金保护, 下层铝层 |
| 内部容积 | 4.4cm³ |
| 重量 | 450g |
| 气路接口 | 1/4" m VCR |
| 电气接口 | 9 - 针 D - 型 m 接口 |
| 电磁兼容性 | EN50081-2 和 EN50082-2 |